艾司摩爾與台積電引領產業轉移升級至大尺寸 High NA EUV 光罩

艾司摩爾ASML與台積（2330）公司9月7日於BACUS國際光學工程學會（SPIE）先進微影技術研討會前宣布發起產業合作，共同推動轉移升級至12吋光罩，以將高數值孔徑極紫外光（HighNAEUV）...

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