白話財經／生產良率差一截 中國研發DUV量產仍是警鐘

中國大陸宣布首款國產沉浸式深紫外光（DUV）曝光機正式進入量產，並預計今年開始交付中芯國際、華虹半導體及長鑫存儲等三大晶圓廠。雖然截至目前為止，全球生產這項設備龍頭艾司摩爾（ASML）未對此做出回應...

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