跟進台積電 英特爾、三星宣布攜手 ASML 推動下世代12吋光罩技術

台積電（2330）8日和艾司摩爾於BACUS國際光學工程學會（SPIE）先進微影技術研討會前宣布發起產業合作，共同推動轉移升級至12吋光罩，以將高數值孔徑極紫外光（HighNAEUV）微影技術的價值...

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