路透：中國開始量產自主研發浸潤式DUV微影機

消息人士表示，中國已開始量產自主研發的浸潤式深紫外線（DUV）微影機，這項先進晶片製造關鍵設備，象徵北京降低對外國技術依賴的努力邁出重要一步。路透社報導，因事涉敏感而要求匿名的消息人士表示，這項生產...

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