台大設置半導體製程研究場域 無塵室開放各校師生

台灣大學接受國科會補助新台幣3億元，設置新的半導體製程無塵室，涵蓋解析度可達8奈米的電子束微影、奈米材料與半導體元件量測設備等，開放各校師生共享研發平台。台灣大學今天舉行記者會，介紹半導體學院最新的...

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