台積電攜手ASML 將於2031年導入High NA EUV 2033年導入量產

艾司摩爾與台積今（7）日於BACUS國際光學工程學會（SPIE）先進微影技術研討會前宣布發起產業合作，共同推動轉移升級至12吋光罩，以將高數值孔徑極紫外光（HighNAEUV）微影技術的價值發揮到極...

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